HY-ES10 これは実験的なプラズマ処理システムであり、研究機関、大学、企業の研究開発ラボ、少量生産ラインなどで広く採用されている。 本装置は、CCP（容量結合プラズマ）放電技術を採用しています。システム全体は、真空チャンバー、プラズマ発生器、真空ポンプ、ガス入口および排気口で構成されています。処理チャンバーは、角型ステンレス鋼で製造されています。
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