HY-WE2002M マニュアル ウェハー拡張装置 LED、トランジスタ、集積回路などの半導体デバイス製造におけるダイ拡張プロセス向けに設計されています。加熱、フィルム延伸、ウェーハ拡張、フィルム固定を1つのプロセスに統合し、温度、拡張時間、戻り速度を調整することで、安定した効率的な運転を実現します。
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