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プラズマ洗浄装置

プラズマ洗浄装置 半導体産業において、材料の表面を活性化、洗浄、改質するために広く用いられている。
当社のプラズマ洗浄機は、半導体ウェハー、液晶パネル、プリント基板、BGA回路基板、LED、プラスチック、金属などの洗浄に適しています。
  • Atmospheric Low-Temperature Rotary Square Plasma Cleaner
    ICパッケージングおよび半導体テスト用大気圧低温回転式角型プラズマクリーナー
    HY-AS1200は、均一なプラズマ表面を生成するためにモーター駆動の回転ノズルを備えています。処理幅は20~80mm、出力は0~1200Wの範囲で調整可能で、大面積のリードフレームや基板のバッチ前処理に最適です。室温中性プラズマはチップを損傷することなく、大気圧下で有機残留物や表面酸化物をドライ除去し、ダイアタッチ、ワイヤボンディング、モールディングの接着性を強化すると同時に、剥離やボイド欠陥を除去します。多層安全保護機能を備え、自動生産ラインとの完全な互換性を有するこの装置は、IC、FPC、車載用チップのパッケージングおよびテスト工程で幅広く使用されています。
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  • Plasma Surface Treatment Machine
    ワイヤボンディング、ダイボンディング、成形用の大気圧低温直接注入プラズマ洗浄装置
    HY-AD800は、繊細なチップ、プリント基板、プラスチック部品を熱変形させることなく安全に加工します。0~800Wの出力調整機能、入出力/手動操作のデュアルモード、そして万全の安全保護機能を備えているため、表面洗浄、活性化、接合性向上などの自動生産ラインに容易に組み込むことができ、半導体パッケージング、3Cエレクトロニクス、自動車、新エネルギー、LED製造などに最適です。
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お問い合わせ :allen@hyrnus.com