ウェハー切断機

HY-WD802は、輸入高速スピンドル2基、同軸リングデュアルビジョン、内蔵NCS高さ測定、BBD検出、オンホイールドレッシング機能を備えています。NSK製トランスミッションとレニショー製クローズドループリニアスケールを搭載し、優れた位置決め精度を実現。シリコン、SiC、GaN、化合物ウェハーの精密切断を行い、パワーデバイス、IC、光電子セラミックの量産に対応します。

HY-WD1201は、最大Φ300mmのワークピースに対応し、8〜12インチフレームで310mmのX/Y移動が可能です。剛性の高い防振構造、0.003mmのY軸位置決め精度、380°のθ軸回転を備え、Φ58mmブレードに対応した10000〜60000rpmのスピンドルを搭載しています。ブレード検査、自動研磨、15インチタッチコントロール、GEM通信を標準装備したこの115010201750mm/1000KGのマシンは、シリコンウェーハ、SiC、セラミック、光学ガラス、磁性材料の精密切断を実現します。

HY-PD1202は、300×300mmの大型フレームに対応します。完全閉ループY制御により、310mmの移動範囲で0.005mmの精度を維持し、Z軸の繰り返し精度は0.003mmを維持します。非接触高さ検出、デュアルライトビジョン、ブレード検査、高耐久性スピンドルを搭載。最適化されたスピンドルレイアウトと大型スクエアトレイにより、効率が5%向上。集中潤滑により長期にわたる精度を確保し、量産自動化ライン向けにGEMと完全互換です。