汎用IC向け高速銀エポキシダイボンダー

HY-SSD12 D機器を取り付ける XY位置決め精度は±20 μm @ 3σ、ダイ回転精度は±0.2° @ 3σ (ダイ >1×1 mm の場合) または ±1° @ 3σ (ダイ の場合) で、スループットは 20,000 UPH を実現します。 <1×1 mm)。このシステムは、0.25 × 0.25 mmから14 × 14 mmまでのダイサイズに対応し、最大12インチのウェーハをサポートし、長さ100～300 mm、幅15～100 mm、厚さ0.1～0.8 mmのフレームに対応し、長さ110～310 mm、テープ幅20～110 mm、高さ70～153 mmのマガジンサイズに対応します。優れたディスペンシング制御システムと、±1/4ピクセルの位置精度を実現するマルチグレーパターン認識システムを備えたボンドヘッドは、30～300 gのプログラム可能な力を備えています。 HY-SSD12は、220V AC単相50/60Hzで動作し、消費電力は3000W、6バールの圧縮空気を500L/分の流量で必要とします。寸法は2,288×1,395×1,840mm、重量は1,860kgです。

仕様

システム機能	UPH	20,000
	XY配置精度	±20 μm @ 3σ
	金型回転（金型サイズ >1×1 mm）	± 0.2° @ 3σ
	ダイ回転（ダイサイズ） <1×1 mm）	± 1°@ 3σ
	ダイサイズ（標準）	0.25×0.25～14×14 mm²
	フレームサイズ - 長さ	100～300mm
	フレームサイズ - 幅	15～100mm
	フレームサイズ - 厚さ	0.1～0.8mm
	雑誌のサイズ - 長さ	110～310mm
	マガジンサイズ - テープ幅	20～110mm
	雑誌のサイズ - 高さ	70～153mm
ボンドヘッドシステム	ボンドヘッドフォース	30～300g（プログラム可能）
ウェハシステム	ウェハーサイズ	12～8インチ
パターン認識システム	PRシステム	マルチグレーPRS
	位置精度	±1/4ピクセル
施設要件	電圧	220VAC（単相）
	頻度	50/60 Hz
	最低空気圧	6バール（87PSI）
	流量	500 LPM @ 6 bar
	消費電力	3000W
寸法と重量	幅×奥行×高さ	2,288 × 1,395 × 1,840 mm³
	正味重量	1,860 kg

利用規約

温度:28℃以下

湿度:30％～70％

クリーンルーム:10,000クラス以上

電圧：真空リフロー炉（380V）を除く全ての機器は220Vで動作します。

製品詳細